2月11日,普达特科技(00650)发布公告,近期成功向客户交付一台12英寸高温硫酸清洗设备,该设备广泛应用于28/14/7nm等先进制程的关键清洗工艺。
此设备经过前期测试验证,技术性能达到海外设备标准,具备国内领先、国际一流的高温控制能力,能够覆盖至190℃的高温硫酸清洗工艺。同时,该设备还具备集成化与兼容性设计,能够为客户提供更具综合竞争力的解决方案。
此外,公司还成功向4家客户交付5台单片晶圆清洗设备,其中包括向一家12英寸晶圆代工厂客户交付一台OCTOPUS设备和向一家高性能模拟与功率器件客户交付的OCTOPUS设备与CUBE设备。